承炘密封:半導體製程的精密守護者
在奈米級製程中,每個密封點都是品質的關鍵。承炘密封王以超過二十年的產業經驗,為您的製程提供最可靠的密封解決方案。
隨著製程節點持續微縮至3奈米以下,半導體製造環境對密封系統的要求已達到前所未有的嚴苛標準。任何微小的洩漏或污染都可能導致整批晶圓報廢,造成數百萬元的損失。
在 3 奈米製程的高溫、強腐蝕與極真空下，您的密封件是否能支撐而不劣化失效？
任何密封逸散都可能導致晶圓報廢，您目前的組件是否真能達到零微粒、零污染嗎？
面對長年無休的運轉，密封件是否能維持性能一致，避免因過早疲乏而迫使停機？
在半導體製程持續朝3奈米甚至更小節點推進的今天，設備面臨著前所未有的高溫、極端化學腐蝕、高真空與電漿環境考驗。承炘密封王深知這些挑戰對製程穩定性與晶圓良率的關鍵影響，我們提供經嚴格驗證的全方位精密密封解決方案，助您克服微污染、確保設備長期高效運作，最終實現卓越生產效率。
1
高階氟橡膠O-Ring
Kalrez®、Chemraz® 等全氟橡膠材質,耐溫達327°C,適用於所有製程段
2
客製化墊片
依設備需求設計的專屬墊片,包含法蘭墊片、閥座墊片等各式應用
3
管路連接件
超高純度VCR、Swagelok接頭用密封件,確保氣體系統零洩漏
4
真空腔體密封
大尺寸腔體用密封圈,確保10⁻⁹ Torr以下的極高真空環境
不同製程環境需要不同等級的密封材料。以下是我們主要供應材料的特性比較,幫助您快速找到最適合的選擇:
| 材料等級 | 最高使用溫度 | 化學耐受性 | 主要應用 |
|---|---|---|---|
| Kalrez® 6375 | 327°C | 極優 (含電漿) | 蝕刻、CVD腔體 |
| Chemraz® 505 | 316°C | 優 (一般製程) | 泵浦、閥門 |
| Viton® ETP | 204°C | 良 (有機溶劑) | 濕製程、清洗 |
| PTFE | 260°C | 極優 (惰性) | 腐蝕性化學品 |
在先進製程中,密封材料的選擇是一項複雜的工程決策。傳統橡膠材料在極端溫度下會硬化或軟化,失去彈性;低階氟橡膠無法承受某些製程化學品的侵蝕;而金屬密封雖然耐用,卻可能產生微粒污染或因熱膨脹係數不匹配而失效。
承炘密封王深耕半導體產業超過二十年,我們不只是密封件供應商,更是您的製程夥伴。我們的團隊由材料科學家、製程工程師與應用專家組成,能夠為您的特殊需求提供客製化解決方案。
全方位材料資料庫
建立完整材料與化學品相容性資料庫，涵蓋多種製程數據。我們能快速為您提供最佳的材料選擇建議，有效節省試錯時間與開發成本，加速產品上市。
- 化學相容性測試
- 溫度耐受分析
- 壓縮變形數據
- 逸出氣體分析
客製化設計能力
面對非標準化需求，我們的工程團隊依據您的設備圖面與製程參數，提供專屬密封方案。從材料配方、尺寸設計到表面處理，提供全程客製化技術服務。
- CAD 設計支援
- FEA 結構分析
- 快速原型製作
- 小批量試產驗證
針對不同的半導體製程段,我們提供專門優化的密封解決方案:
在半導體產業,品質不是口號,而是每個環節的嚴格執行。承炘密封建立了完整的品質追溯系統,確保每一個交付的產品都符合最高標準。
01
Step 01
原料管控
僅採購原廠正品材料,每批次均有完整COC證明
02
Step 02
製程監控
關鍵尺寸100%檢驗,表面瑕疵光學檢測
03
Step 03
性能測試
壓縮永久變形、硬度、拉伸強度批次抽檢
04
Step 04
清潔包裝
潔淨室環境包裝,真空密封防污染
05
Step 05
追溯系統
批號管理,5年內可追溯所有生產記錄
購買密封件只是開始,我們提供全生命週期的技術支援,確保您的設備始終運行在最佳狀態。
選型諮詢
免費的材料選型與設計建議服務，協助您在專案初期就做出正確決策
- 製程條件分析
- 材料相容性評估
- 成本效益分析
現場測試
小批量試用支援，在正式導入前先驗證性能，降低風險
- 樣品提供
- 安裝指導
- 性能追蹤
教育訓練
為您的工程與維護團隊提供密封件知識培訓
- 材料特性說明
- 安裝最佳實踐
- 故障診斷技巧
持續支援
7x24技術熱線，緊急狀況快速響應
- 技術諮詢專線
- 故障分析服務
- 改善建議
— 某領導晶圓廠製程設備部經理
— 某記憶體製造廠設施工程師
— 某功率元件廠採購經理
我們的使命是成為半導體製造商最值得信賴的密封解決方案夥伴,透過持續創新與卓越服務,協助客戶提升製程穩定性、降低維護成本、增強市場競爭力。