半導体装置用シール｜使用条件に基づいて材料と部品を選定する
半導体装置において、シール部品は媒体、温度、圧力、および清浄度条件に合わせて選定する必要があります。写真、使用済みの部品、または図面をお送りいただければ、承熏が材質、寸法、加工方向の確認をお手伝いいたします。
設備のシールに関する問題は、多くの場合、使用場所や使用条件から始まります。どのような媒体と接触しているか、温度や圧力はどの程度か、既存の部品のどの部分が故障しているか、といった点です。まずは以下の3つのケースをご確認いただき、その後、写真、古い部品、または図面をお送りいただければ、当社で確認させていただきます。
シール材が化学物質に接触したり、温度変化や真空状態にさらされたりした場合、現在使用中の製品に膨潤、ひび割れ、または漏れは生じていませんか？
分解・組み立て後に汚染の懸念や密閉性の不安定さが生じた場合、材料、寸法、および接触面をどのように確認すればよいでしょうか？
旧規格の供給停止や、修理の納期に間に合わない場合、旧部品、写真、または図面を用いて代替品や加工の可否を評価することは可能でしょうか？
承炘では、設備の設置場所や使用条件から確認を開始します。まず、媒体、温度、圧力、および洗浄要件を確認した上で、既存の部品の材質、寸法、および故障状況と照合します。写真、旧部品、または図面をお送りいただければ、代替品、加工、および納品方法についてご相談させていただきます。
承炘では、設備の設置場所、媒体、温度・圧力に基づき、シール材や部品の仕様を確認いたします。また、旧部品、図面、寸法などがあれば、代替品や加工の可否についても評価いたします。お手持ちの資料をご提供いただければ、確認が必要な条件を整理するお手伝いをさせていただきます。
高級フッ素ゴムOリング
FFKM、FKM などのOリングの選定は、媒体、温度、清浄度要件、および溝の寸法に基づいて行います。既存の部品や図面をご提示いただければ、代替品についてご相談に応じます。
カスタマイズガスケット
図面や仕様書に基づき、穴の位置、厚さ、接触面、材質を確認し、フランジおよび設備用ガスケットの加工方向を評価する。
配管継手のシール材
継手の形式、寸法、および媒体に応じてシール部品を確認し、交換する仕様や材質について協議します。継手の写真または型番をご提供ください。
真空チャンバー用シールリング
ハウジングの溝、寸法、真空条件、および洗浄条件に基づいてシールリングを確認し、材料および加工の実現可能性を評価する。
CVD／PVD、ドライエッチング、ウェット洗浄、熱処理は、それぞれ使用する媒体、温度、シール位置が異なります。装置の設置場所、旧部品、または図面をご提供いただければ、承菁が材料や部品の形式の確認をお手伝いいたします。
成膜
CVD／PVD装置については、まず前駆体、温度、およびシール位置を確認し、その後、Oリングやガスケットの材質を照合してください。
ドライエッチング
チャンバーの位置、接触ガス、およびプラズマ条件を提示し、シール材、寸法、および交換仕様について検討する。
ウェットクリーニング
pH、溶剤、洗浄温度に基づいて、タンクや配管のシール部材を確認し、材料の適合性を評価する。
熱処理
炉体の設置場所、使用温度、および取り外し・取り付けの頻度を提示し、シールリングやガスケットの材質および寸法を確認してください。
Kalrez® 6375、Chemraz® 505、Viton® ETP および PTFE のグレードおよび適用条件については、実際のグレード、メーカーの資料、および設備の稼働状況に基づいて確認する必要があります。まず、各材料についてどのような資料が必要かを確認した上で、承熏に仕様と供給元を照合してもらってください。
| 材質／グレード | 条件の確認 | 検討可能な場所 | ご提供ください |
|---|---|---|---|
| カルレッツ® 6375 | 媒体、温度、洗浄、およびメーカー指定のグレード | ケーシング、バルブ部品 | 型番、旧部品、または図面 |
| ケムラズ® 505 | 媒体、温度・圧力およびメーカー指定のグレード | ポンプ、バルブ類 | 型番、サイズ、数量 |
| バイトンETP | 接触溶剤、温度、および材料グレード | 洗浄、配管 | 旧製品、媒体、およびサイズ |
| PTFE | 材料のグレード、寸法および接触面 | ガスケット、配管接続部 | 図面、厚さ、数量 |
事例1｜材料と使用条件の照合
事例2｜特殊仕様の部品
事例3｜多箇所シール構成
運転条件の整理
設備の位置、媒体、温度・圧力、および旧部品のデータを送付し、まず材料選定や仕様に関する疑問点を整理する。
資料の確認
接触する媒体、洗浄要件、および使用条件に応じて、材料および利用可能なグレードを比較検討してください。
寸法とサンプル
引き続き、実物または図面に基づいて寸法を確認し、案件ごとにサンプルや試験方法について協議する。
納期の手配
仕様、数量、および納期を確認した上で、在庫品、加工品、あるいは代替品についてご返答いたします。
追加の材料
確認済みの品番と仕様を記録し、再発注や修理・交換の際に活用できるようにする。
設備の設置場所、旧部品、写真、または図面があれば、まずは材料や寸法についてご相談いただけます。承炘では、ご提供いただいた資料に基づき、代替品の手配、加工、および納品方法についてご提案いたします。その後の供給については、実際の仕様に基づいて手配いたします。
写真、過去の資料、または図面を送っていただき、承熏に確認してもらってください
設備の設置場所、接触する媒体、温度、圧力、および必要数量をご明記ください。承炘では、ご提供いただいた情報に基づき、材質、仕様、代替案、および加工方法について検討いたします。
データの送信後、まず弊社にて以下の確認をお手伝いいたします：