承炘密封:半導體製程的精密守護者
在奈米級製程中,每個密封點都是品質的關鍵。承炘密封王以超過二十年的產業經驗,為您的製程提供最可靠的密封解決方案。
隨著製程節點持續微縮至3奈米以下,半導體製造環境對密封系統的要求已達到前所未有的嚴苛標準。任何微小的洩漏或污染都可能導致整批晶圓報廢,造成數百萬元的損失。
高溫、強腐蝕、極真空下，密封件能否不劣化失效？
密封逸散恐致晶圓報廢，能否真正零微粒、零污染？
長年無休運轉下，密封性能能否持續穩定不停機？
在半導體製程持續朝3奈米甚至更小節點推進的今天，設備面臨著前所未有的高溫、極端化學腐蝕、高真空與電漿環境考驗。承炘密封王深知這些挑戰對製程穩定性與晶圓良率的關鍵影響，我們提供經嚴格驗證的全方位精密密封解決方案，助您克服微污染、確保設備長期高效運作，最終實現卓越生產效率。
承炘密封王深耕半導體產業超過二十年,我們不只是密封件供應商,更是您的製程夥伴。我們的團隊由材料科學家、製程工程師與應用專家組成,能夠為您的特殊需求提供客製化解決方案。
高階氟橡膠O-Ring
Kalrez®、Chemraz® 等全氟橡膠材質,耐溫達327°C,適用於所有製程段
客製化墊片
依設備需求設計的專屬墊片,包含法蘭墊片、閥座墊片等各式應用
管路連接件
超高純度VCR、Swagelok接頭用密封件,確保氣體系統零洩漏
真空腔體密封
大尺寸腔體用密封圈,確保10⁻⁹ Torr以下的極高真空環境
針對不同的半導體製程段,我們提供專門優化的密封解決方案:
1
薄膜沉積
CVD/PVD設備密封,耐高溫與前驅物化學品侵蝕
2
乾式蝕刻
依設備需求設計的專屬墊片,包含法蘭墊片、閥座墊片等各式應用
3
濕式清洗
化學清洗槽密封,耐酸鹼與有機溶劑
4
熱處理
擴散與退火爐密封,超高溫長期穩定性
不同製程環境需要不同等級的密封材料。以下是我們主要供應材料的特性比較,幫助您快速找到最適合的選擇:
| 材料等級 | 最高使用溫度 | 化學耐受性 | 主要應用 |
|---|---|---|---|
| Kalrez® 6375 | 327°C | 極優 (含電漿) | 蝕刻、CVD腔體 |
| Chemraz® 505 | 316°C | 優 (一般製程) | 泵浦、閥門 |
| Viton® ETP | 204°C | 良 (有機溶劑) | 濕製程、清洗 |
| PTFE | 260°C | 極優 (惰性) | 腐蝕性化學品 |
— 某領導晶圓廠製程設備部經理
— 某記憶體製造廠設施工程師
— 某功率元件廠採購經理
01專業諮詢
工程師免費評估您的應用需求，提供最適合的解決方案建議
02樣品測試
提供樣品進行實際測試，驗證性能是否符合您的期望
03快速交付
確認訂單後快速安排生產，確保您的專案時程
04安裝支援
提供詳細安裝指導，必要時派遣技師現場協助
05持續服務
長期技術支援與定期追蹤，確保系統穩定運行
承炘密封王不僅提供優質產品,更重視與客戶的長期合作關係。我們的技術團隊隨時待命,協助您解決各種密封相關的技術問題,確保您的設備始終保持最佳運轉狀態。
讓承炘密封王協助您解決密封難題
無論您面臨什麼樣的密封挑戰，承炘密封王都能提供專業的解決方案。我們的技術團隊隨時準備為您服務，從需求分析到產品交付，提供全方位支援。
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